Tecnai F30场发射透射电镜主机，包括计算机工作站和单倾、低背景双倾等几种样品杆；数子化、一体化STEM透射扫描附件，包括HAADF探头；数子化、一体化EDX能谱仪系统，包括能谱频谱分析技术软件；数子化、一体化CCD相机，包括622视频TV，CCD相机和794CCD平板相机照相系统；辅助设备包括冷却水机和空压机等。 Schottky 场发射灯丝 加速电压范围: 50kV~300kV 点分辨率: 0.20nm；线分辨率：0.10nm；信息分辨率：0.14nm 物镜球差系数Cs：1.2mm； 物镜色差系数Cc：1.4mm 聚焦长度：2.3mm；最小聚焦步长：0.3nm 最小束斑尺寸：0.3nm；最大会聚角：±12º TEM放大倍数: 60×~1000,000× 选区衍射相机常数：35mm~2300mm STEM放大倍数；50×~3000,000×（+8× zoom） STEM图象分辨率：0.17 nm 样品台最大倾角：±40 º 样品台：计算机控制、全对中、侧插式5轴马达台（CompuStage）；x, y移动范围2mm；可存储和回复无数各维或5维位置，回复精度≤ 300nm，样品漂移≤ 1nm/min 样品真空度≤ 2.7×10-5Pa EDX分析元素范围：铍Be~铀U92 能谱仪探头分辨率：≤ 138 ev; 峰背比20000:1 794CCD相机：1024×1024像素图像峰辨率
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