俄歇电子能谱仪(PHI 660)
点击数: 1318     更新时间: 2016-03-25



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仪器名称
 PHI 660扫描俄歇微探针
制造商
美国Physical electronics 公司
仪器用途与简介

主要用于固体材料的成份特别是微纳区域的的表面与结构分析(线扫描,面扫描,深度剖析,成像)。

主要配置及技术指标

真空断裂台;原位加热冷却台

检测范围:原子序数大于He的所有元素

检测极限:0.1 at%

信息深度:0.5~5 nm

空间分辨率:25 nm

能量分辨率≤0.3%

半定量:相对原子灵敏度因子法