主要用于固体材料的成份特别是微纳区域的的表面与结构分析（线扫描，面扫描，深度剖析，成像）。

真空断裂台；原位加热冷却台

检测范围：原子序数大于He的所有元素

检测极限：0.1 at%

信息深度：0.5~5 nm

空间分辨率：25 nm

能量分辨率≤0.3%

半定量：相对原子灵敏度因子法