X射线扫描微探针电子能谱仪(Quantum 2000)
点击数: 1436     更新时间: 2016-03-25



               图片说明:


仪器名称
Quantum 2000型 X射线扫描微探针电子能谱仪
制造商
美国Physical electronics 公司
仪器用途与简介

具有先进的自动电中和功能,可消除非导体样品的荷电位移影响;仪器同时具有角分辩XPS功能及氩离子深度剖析功能;具有元素影像扫描功能;通过仪器附带的SPS工作台,可方便进行样品元素的化学微区分析(100~200µm)。检测固体材料表面或纵深方向的元素组成及分布,通过元素结合能位置了解元素化学状态或键合状态。任何固体样品均可,但不得具有磁性、毒性、辐射性及易挥发性。

主要配置及技术指标

软件:Compass工作软件,Multipak数据处理软件

附有氩离子枪,可进行样品表面清洁及深度剖析

附有SPS样品精密定位台,可方便进行样品元素的化学微区分析

X-ray光源:Al阳极靶,扫描式单色器

束斑:10µm~200µm,一般100µm~200µm

能量分析仪:180º半球形分析器+16通道检测器

基础真空:<5×10-10 torr

检测范围:原子序数大于He的所有元素

检测极限:0.5-0.01 atomic%

信息深度:0.5~7.5 nm

能量分辨率:优于0.5eV(Ag)

空间分辨率:优于10µm

半定量:相对原子灵敏度因子法