具有先进的自动电中和功能，可消除非导体样品的荷电位移影响；仪器同时具有角分辩XPS功能及氩离子深度剖析功能；具有元素影像扫描功能；通过仪器附带的SPS工作台，可方便进行样品元素的化学微区分析（100～200µm）。检测固体材料表面或纵深方向的元素组成及分布，通过元素结合能位置了解元素化学状态或键合状态。任何固体样品均可，但不得具有磁性、毒性、辐射性及易挥发性。

软件：Compass工作软件，Multipak数据处理软件

附有氩离子枪，可进行样品表面清洁及深度剖析

附有SPS样品精密定位台，可方便进行样品元素的化学微区分析

X-ray光源：Al阳极靶，扫描式单色器

束斑：10µm~200µm，一般100µm~200µm

能量分析仪：180º半球形分析器+16通道检测器

基础真空：<5×10-10 torr

检测范围：原子序数大于He的所有元素

检测极限：0.5-0.01 atomic%

信息深度：0.5～7.5 nm

能量分辨率：优于0.5eV(Ag）

空间分辨率：优于10µm

半定量：相对原子灵敏度因子法