扫描电子显微镜系统(LEO1530)

点击数： 6411 更新时间： 2016-03-25

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仪器名称	LEO-1530扫描电子显微镜系统
制造商	德国里奥电镜有限公司
仪器简介与用途	广泛用于对各种材料（金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等）进行图象观察、微结构测定和微区成分分析等。
主要配置及技术指标	INCA平台，EDS能谱仪，电子背散射衍射系统（EBSD），阴极荧光分析器（Gatan Mono CL3+）电子枪: 热场发射加速电压: 100V~30kV 放大倍数: 20×~900,000× 分辨率：1.0nm（20kV）；2.5nm（1kV）；5.0nm（0.2kV）探测电流：4pA~10 nA； EDS能谱仪和EBSD：分辨率优于133eV；元素分析范围：4Be~92U