仪器名称

KRATOS AXIS SUPRA+ X射线光电子能谱仪

制造商

英国KRATOS ANALYTICAL LTD.（属日本岛津集团公司）

仪器简介与用途

X射线光电子能谱仪，可实现对固体材料表面几个原子层(1-10纳米厚的表面)的元素种类及可能的化学价态的定性及半定量分析，配备氩离子枪可对材料进行溅射深度剖析，实现对材料纵深方向（几十至几百纳米）元素种类及可能的化学价态变化的定性及半定量分析。

主要配置和技术指标

完整的X射线能谱仪仪器配置，附加氩团簇离子枪、紫外光电子能谱UPS、气氛敏感样品转移仓等功能附件。仪器具备单色化XPS、小面积XPS、角分辨XPS、成像XPS及UPS等功能。XPS能谱的主要技术指标如下：

Al单色XPS指标(Ag 3d5/2峰半高全宽@强度，测试功率300W)

大束斑（300μm×700μm矩形）能量分辨率和灵敏度：0.45eV@160kcps、0.6eV@2.5Mcps；

中束斑(Φ110μm)能量分辨率和灵敏度： 0.48eV@200kcps、 0.6eV@600kcps；

小束斑(Φ15μm)能量分辨率和灵敏度：0.48eV@15kcps、 0.6eV@25kcps；

绝缘体中和效果，能量分辨率和灵敏度优于(PET，O-C=O的C 1s峰半高宽@C-C/C-H的C 1s峰强度，测试功率300W)：

大束斑(700μm×300μm)： 0.68eV@30kcps、 0.77eV@70kcps;

中束斑(Φ110μm)：0.68eV@3kcps；

小束斑(Φ15μm)： 0.82eV@0.5kcps。